詳細(xì)說(shuō)明
平面伺服馬達(dá)藉由空氣軸承並整合位置感測(cè)器，可於單一定子上放置多顆動(dòng)子在X-Y平面上移動(dòng)。亦可倒吊操作。
X-Y平臺(tái)
整合位置感測(cè)器可作閉迴路控制
採(cǎi)用空氣軸承故無(wú)無(wú)磨耗
磁場(chǎng)不外漏，不影響周?chē)O(shè)備
無(wú)溫升問(wèn)題，系統(tǒng)精度相對(duì)穩(wěn)定
可倒吊安裝
定子大小(行程)可依客戶(hù)需求客製
吳女士 18825529049
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