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LMG2A系列直線電機特征：
 
最大行程4m x 4m
以線性滑軌或空氣軸承架構(gòu)之定位平臺
良好接地設計防止噪聲干擾
Z向震動可達奈米等級以下
最大速度可達5m/s
標準重現(xiàn)精度1um或以下
位置回饋系統(tǒng)分辨率最低可達50nm

LMG2A系列直線電機應用：

半導體設備
自動化搬送
FPD設備
太陽能制造設備
PCB設備
水刀設備
鉆石切割產(chǎn)業(yè)
AOI檢測設備
工具機